電子偏光顯微鏡的機械系統(tǒng)和真空系統(tǒng)
發(fā)布人：shpuda發(fā)布時間：2014/4/29
電子偏光顯微鏡中造價最高的部分不是電子光學系統(tǒng).而是它的復雜的機械結構。它的極靴的表面公差和光潔度直接影響透鏡像差，影響分辨率極限。它由多個透鏡登加組成，每個部分的精度和光潔度會影響透鏡的對準，同樣影響透鏡質量，前面提到的每個透鏡.圖中給出的都是它們的簡圖。最簡單的、放大倍數(shù)不高的電子偏光顯微鏡也要有兩百多個真空密封墊圈，任何部分的平整度、光沽度都會影響真空度的獲得，影響電子偏光顯微鏡的正常使用。
它的樣品是放在真空系統(tǒng)內的，每次更換樣品都要影響賓空度，所以整個系統(tǒng)是由動態(tài)平衡來保持真空度的。正因為這樣，它的陰極—燈絲的壽命有限，而每次更換燈絲，都要重新調整它的電子光學同軸向題，這又使結構更加復雜。
圖8.6中(a)是透鏡的平移調節(jié)裝置，如果定義磁透鏡的軸心(稱為中心光軸)為Z軸，通過調節(jié)在XY平面中相互垂直的這樣兩個平移螺絲可以使相應透鏡在整內相互垂直的兩對傾斜螺絲，可以使上部透鏡在180°立體角內傾斜，這樣通過調節(jié)這些螺絲，可以把整個電子偏光顯微鏡的各級透鏡調節(jié)至與中心光軸重合，在整個調節(jié)過程中。不論平移還是傾斜都不能有漏氣點?？梢娖鋷缀窝b配要求之高。
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