電子偏光顯微鏡的機(jī)械系統(tǒng)和真空系統(tǒng)
發(fā)布人：shpuda發(fā)布時(shí)間：2014/4/29
電子偏光顯微鏡中造價(jià)最高的部分不是電子光學(xué)系統(tǒng).而是它的復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)。它的極靴的表面公差和光潔度直接影響透鏡像差，影響分辨率極限。它由多個(gè)透鏡登加組成，每個(gè)部分的精度和光潔度會(huì)影響透鏡的對(duì)準(zhǔn)，同樣影響透鏡質(zhì)量，前面提到的每個(gè)透鏡.圖中給出的都是它們的簡(jiǎn)圖。最簡(jiǎn)單的、放大倍數(shù)不高的電子偏光顯微鏡也要有兩百多個(gè)真空密封墊圈，任何部分的平整度、光沽度都會(huì)影響真空度的獲得，影響電子偏光顯微鏡的正常使用。
它的樣品是放在真空系統(tǒng)內(nèi)的，每次更換樣品都要影響賓空度，所以整個(gè)系統(tǒng)是由動(dòng)態(tài)平衡來保持真空度的。正因?yàn)檫@樣，它的陰極—燈絲的壽命有限，而每次更換燈絲，都要重新調(diào)整它的電子光學(xué)同軸向題，這又使結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜。
圖8.6中(a)是透鏡的平移調(diào)節(jié)裝置，如果定義磁透鏡的軸心(稱為中心光軸)為Z軸，通過調(diào)節(jié)在XY平面中相互垂直的這樣兩個(gè)平移螺絲可以使相應(yīng)透鏡在整內(nèi)相互垂直的兩對(duì)傾斜螺絲，可以使上部透鏡在180°立體角內(nèi)傾斜，這樣通過調(diào)節(jié)這些螺絲，可以把整個(gè)電子偏光顯微鏡的各級(jí)透鏡調(diào)節(jié)至與中心光軸重合，在整個(gè)調(diào)節(jié)過程中。不論平移還是傾斜都不能有漏氣點(diǎn)。可見其幾何裝配要求之高。
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