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      電子偏光顯微鏡(以下簡稱電鏡—譯注)的主體由電子槍和安置在直立鏡筒中的一組磁透鏡組成，鏡筒內的真空度抽到10-5毛以上。電子槍產生相干平行電子束，利用雙聚光鏡系統可使其照在樣品上的束斑直徑在1-50微米(μm)范圍內變化。

      固定試樣的特制樣品臺正好放進物鏡孔內，并能讓樣品繞相互垂直的兩根軸轉動300以上，以便進行專門的晶體學分析。通過樣品的電子束在物鏡后焦面上聚焦，這個物鏡和所有電磁透鏡一樣，是會聚鏡，在它的后焦面就會產生衍射花樣，而在一次象平面上則呈現倒轉的象。鏡筒里后而三個透鏡，即衍射鏡、中間鏡和投影鏡，是用來放大圖象或衍射花樣。若衍射鏡對物鏡后焦面聚焦，螢光屏上就看到放大的衍射花樣;反之，若衍射鏡對一次象平面成象，就得到放大的試樣象。典型的現代電鏡在螢光屏上的最終放大率可在10(2)-10(8)倍之間變化。

      實際上，在進行一切晶體缺陷分析時都把一個光欄插在物鏡后焦面或其附近，以保證只有一束電子參加成象。此外，當縮短衍射鏡焦距以使衍射花樣在物鏡后焦面上成象時，還應在一次象平面處放置一個光欄限定產生衍射花樣的試樣區(qū)域，這叫做選區(qū)電子衍射。