產(chǎn)品用途
MX-40BD半導(dǎo)體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強(明場/暗場/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點；同時配有長工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺，尤其適合半導(dǎo)體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點
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安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱
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透反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構(gòu)。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果
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電動物鏡轉(zhuǎn)換器: MX-40BD采用6孔全自動電動裝盤（帶DIC插槽），重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器
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長工作距金相物鏡：采用半復(fù)消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。更有50X和100X全復(fù)消色差金相物鏡可供選擇，大幅拓展了該機型的應(yīng)用領(lǐng)域。
產(chǎn)品規(guī)格
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規(guī)格參數(shù)
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MX-40BD
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光路系統(tǒng)
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無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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●
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜，360°旋轉(zhuǎn)；瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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反像,視度調(diào)節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0
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●
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目鏡
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高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ23mm)
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●
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無限遠長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡
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倍率
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數(shù)值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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BD 5×-DIC
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0.15
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15.0mm
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BD 10×-DIC
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0.3
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8.40mm
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BD 20×-DIC
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0.4
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11.90mm
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BD 50×-DIC
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0.75
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3.00mm
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明暗場半復(fù)物鏡
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BD
100×(選配)
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0.9
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1.0mm
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○
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放大倍數(shù)
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50×-500×
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●
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電動物鏡轉(zhuǎn)輪
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電動明暗場6孔轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）
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●
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透反射用機架
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6*4英寸雙層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
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●
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平臺面積310*240mm，移動行程：150mmX100mm機械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
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內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能
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調(diào)焦機構(gòu)
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粗、微動同軸低手位調(diào)焦機構(gòu)、帶鎖緊和限位裝置
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●
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微動格值0.001mm、粗調(diào)行程35mm
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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聚光鏡
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搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）
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反射照明系統(tǒng)
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柯拉照明系統(tǒng)，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)
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●
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100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED，暖色
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透射照明系統(tǒng)
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內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨立控制
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●
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數(shù)碼成像系統(tǒng)
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高質(zhì)量0.65X CCD適配鏡
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●
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Puda 630萬USB型進口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準(zhǔn)的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準(zhǔn)再現(xiàn))
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專業(yè)的圖像分析軟件（專業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動態(tài)圖像灰度值定標(biāo)(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性)
/插件功能)）
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可升級配件
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明暗場全復(fù)消色差金相物鏡
50X NA0.55 WD8.0 (可選)
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○
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明暗場全復(fù)消色差金相物鏡 100X NA0.80 WD2.8 (可選)
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○
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移動平臺6寸、8寸、12寸透反射 (可選)
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○
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晶圓旋轉(zhuǎn)臺 (可選)
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○
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標(biāo)配、○為可升級配件
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特別聲明：
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