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上海普丹光學儀器有限公司

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MX-4半導體檢測顯微鏡

半導體檢測顯微鏡資料下載

產(chǎn)品用途

MX-4半導體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學系統(tǒng),具有大視野、成像質量高、功能擴展性強(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點;同時配有長工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺,尤其適合半導體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。

產(chǎn)品特點

安全、穩(wěn)重的機架結構設計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱

反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明,帶斜照明機構。切換至斜照明時,可以使物體表面不同材質部分呈現(xiàn)立體圖案,增加觀察的對比度與視覺效果

高性能物鏡轉換器: MX4R轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)需求可配置不同孔位的轉換器

產(chǎn)品規(guī)格

規(guī)格參數(shù) MX-4
光路系統(tǒng) 無限遠色差校正光學系統(tǒng)
觀察頭 鉸鏈三通觀察筒,30°傾斜,360°旋轉;瞳距范圍:50mm~75mm
正像,視度調節(jié)±5°;兩檔分光比R:T=100:0或50:50
目鏡 高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ22mm)
無限遠長工作距平場消
色差金相物鏡
倍率 數(shù)值孔徑(N.A.) 工作距離(W.D.)
-DIC 0.15 10.80mm
10×-DIC 0.3 12.20mm
20×-DIC 0.45 4.00mm
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡 50× 0.55 7.90mm
100×(選配) 0.8 2.10mm
放大倍數(shù) 50×-500×
物鏡轉輪(DIC) 內定位5孔轉換器(帶DIC插槽)
載物臺 6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節(jié)
平臺面積445mmX240mm,反射照明移動范圍:158mmX158mm;透射照明移動范圍:100mmX100mm,帶離合器手柄,可用于全行程范圍內的快速移動
玻璃載物臺板。(透/反射用)
調焦機構 粗、微動同軸低手位調焦機構、帶鎖緊和限位裝置
 微動格值0.001mm、粗調行程30mm
DIC微分干涉 DIC微分干涉觀察組件(選配)
簡易偏光裝置 φ30起偏鏡插板(反射用)、360度旋轉式檢偏鏡插板(反射用)
反射照明系統(tǒng) 柯拉照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調
帶斜射照明裝置
100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED,暖色
透射照明系統(tǒng) 內置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光可獨立控制
數(shù)碼成像系統(tǒng) 高質量0.5X  CCD適配鏡
Puda 630萬USB型進口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(采用SONY 6.3M/IMX178(C),1/1.8“ (7.37x4.92),59@3072 x2048,59@1536x 1024高性能芯片組/ USB3.0高速通訊,高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎,確保顏色精準再現(xiàn))
Puda ImageView專業(yè)的圖像軟件
可升級配件 目鏡:10×(分劃)
注解:●為標配、○為可升級配件
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